第五章：空气洁净技术控制原理

5.1 洁净室洁净度控制

洁净空气要达到设计洁净度主要靠高效或超高效过滤设备，向特定的环境内输送洁净空气并能保持空气的洁净度。空气过滤技术原理为拦截阻留、筛孔阻留、静电吸引阻留、惯性碰撞和布朗运动阻留。因此，空气过滤洁净技术是一种综合作用的结果。高效过滤器的滤材结构主要有两种形式：有隔板折叠式和无隔板折叠式，所用滤材有：玻璃纤维滤材、高级纸浆制滤材、过氯乙烯纤维滤材等。高效过滤器HEPA对空气中0.5um的颗粒的阻留率能达到99%以上，超高效过滤器ULPA可阻留0.3um的颗粒 99.999% 以上。

5.2 洁净室气流组织控制

洁净室内气流组织比较好，则在工作区内流线尽可能单向平行，没有涡流。即尽可能实现单向流。保证单向流洁净室特性的重要先决条件为送风活塞流情况。实现“活塞流”的重要措施是：在顶棚或墙面满布高效过滤器。由于过滤器和顶棚有边框，不可能百分之百地满布过滤器；过滤器的满布情况用“满布比”表示。满布比=高效过滤器净截面积/洁净室布置过滤器截面面积。其次是控制送风速度，送风速度太小导致洁净室内换气次数偏小，人员设备等产生的微粒无法及时沉降，容易在洁净室内滞留，送风速度太大则又导致空调运行能耗增加，所以以上因素应该综合考虑。

5.3 洁净室压差控制

5.3.1洁净室内压差控制正压与负压的选择

洁净室与邻室维持正的静压差（简称正压）是较为常见的情况。工业洁净室和一般生物洁净室都是采用维持正压。使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室、生产致敏性药物、高活性药物的生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负的静压差（简称负压）。《洁净厂房设计规范》（GB50073-2013）规定：洁净室与周围的空间必须维持一定的压差，并应按生产工艺要求决定维持正压差或负压差。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5Pa，洁净区与室外的压差应不小于10Pa。