简介: 磨盘,也称为磨片,是旋转工作的摩擦元件。研磨盘是半导体行业中超大规模集成电路用硅片生产的重要工艺装备。通常使用的铸铁或碳钢研磨盘其使用寿命低,热膨胀系数大。在加...
磨盘,也称为磨片,是旋转工作的摩擦元件。研磨盘是半导体行业中超大规模集成电路用硅片生产的重要工艺装备。通常使用的铸铁或碳钢研磨盘其使用寿命低,热膨胀系数大。在加工硅片过程中,特别是高速研磨或抛光时,由于研磨盘的磨损和热变形,使硅片的平面度和平行度难以保证。采用碳化硅陶瓷的研磨盘由于硬度高研磨盘的磨损小,且热膨胀系数与硅片基本相同因而可以高速研磨、抛光。特别是近几年来的硅片尺寸越来越大,对硅片研磨的质量和效率提出了更高的要求。碳化硅陶瓷研磨盘的使用将使硅片研磨的质量和效率有很大的提高。同时碳化硅陶瓷研磨盘还可用于研磨、抛光其它材料的片状或块状物体的平面。
制浆磨盘 中密度纤维板是20世纪林产工业的重大发明之一,其优异的性能具有其他板种不可替代的地位,它的发展速度在本世纪上叶,仍将名列前茅。
纤维是中密度纤维板的质量基础,热磨工序是整个生产过程中十分重要的工序,而影响热磨机性能和潜力发挥的关键又在磨片,可以说磨盘(磨片)是热磨机最积极、最活跃的因素。
磨片是直接分离纤维的部件,在分离纤维的同时,自身也导致磨损,且耗损很大。在整个热磨机的使用周期中,更换磨片的费用甚至超过了热磨机的购置费用,因此了解磨片的磨损机理,对设计、制造和正确选用磨片都是非常重要的。
磨片分类 锥形磨片、圆盘磨片、热磨机磨片、疏解机磨片、热分散磨片等 ,每个规格的磨片分别有数种到数十种齿型。